水中生体分子の高分解能アクティブ観察に向けた，グラフェン隔壁を持つTEM用MEMSリキッドセル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-115

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): MEMS liquid TEM cell with graphene membranes toward high-resolution in-situ observation of living specimens in liquid

著者名: 松井 遼平*，高山 由貴，佐藤 隆明，Jalabert Laurent，藤田 博之(東京大学)

キーワード: グラフェン,転写,リキッドセル,透過型電子顕微鏡,MEMS

要約(英語): This study provides the visualization method of nano-scale specimens in liquid for biological analysis. We fabricated new MEMS liquid cells, which have graphene. The liquid cells enabled us to observe Au nano particles with the diameter of 15 nm in liquid. Our image analysis showed the resolution reached to sub-ten-nano meter.

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