マイクロ光学式マルチガスセンサの実現を目指したシリコン上の光学セルフアライメント技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-127

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): An Optical Self-Alignment Technology on Silicon for Realization of Micro Optical Multi-Gas Sensor

著者名: 山本 善哉*{1}，篠崎 亮輔{1}，朝日 一平{2}，二宮 英樹{2}，下川 房男{1}，高尾 英邦{1}({1}香川大学，{2}四国総合研究所)

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