厚膜スプレーコート法のモデル化による高精度膜厚制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-133

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): High Accuracy Thickness Control by Modeling a Thick Film Spray Coating Method

著者名: 藤原 清*{1}，赤松 幹夫{1}，寺尾 京平{1}，高尾 英邦{1}，下川 房男{1}，鈴木 孝明{2}({1}香川大学，{2}群馬大学)

PDFファイルサイズ: 553 Kバイト