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可動 MEMS スパイラル構造による偏光変調デバイス
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 29pm3-PS-135
グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2015/10/21
タイトル(英語): Deformable MEMS spiral metamaterial for polarization modulation
著者名: 菅 哲朗*(東京大学)
PDFファイルサイズ: 595 Kバイト
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