FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-017

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Evaluation of annealing effect on sputtered FePd magnetostrictive film using MEMS cantilever

著者名: 笹渕 貴史*，岡田 尚樹，佐藤 翼，小池 邦博，峯田 貴(山形大学)

キーワード: MEMSカンチレバー,Si,FePd磁歪膜,熱処理,結晶構造

要約(英語): Effect of annealing on magnetostriction of sputtered Fe60Pd40 film was evaluated using MEMS cantilever. Magnetostrictive effect, which was about 45 ppm before annealing, increased 1.5-3 times after annealing at 350-450 ℃ for 30 min. When annealing at 350-450 ℃, surface orientated fct phase increased, and in-plane phase crystallization advanced with increasing annealing temperature. In contrast, magnetostriction along the cantilever was lost when annealing at 500 ℃.

PDFファイルサイズ: 1,209 Kバイト