静電櫛型走査マイクロミラーにおける補助櫛を用いた非線形補償

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-037

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Nonlinearity compensation of electrostatic comb scanning micromirror using additional combs

著者名: 伊澤 貴志*，佐々木 敬，羽根 一博(東北大学)

キーワード: MEMS,静電,櫛歯,マイクロミラー,非線形

要約(英語): Scanning micromirror with comb electrostatic actuator is often used for various applications such laser display. However, the nonlinearity occurs with respect to the rotation angle near the resonance frequency when driving at the large angle. In this study, we focus the compensation of the nonlinearity by introducing auxiliary comb electrodes. The results of design and fabrication of the micromirror are reported and the measurements on the nonlinearity compensation are discussed.

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