3Dマイクロスプリングを用いた静電駆動可変プラズモニック素子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-039

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Electrostatic force driven plasmonic devices using 3D microsprings

著者名: 西山 宏昭*，阿部 祐真，市村 琢朗，大関 透典，齋藤 泰登(山形大学)

キーワード: 表面プラズモン共鳴,フェムト秒レーザ,多光子造形,マイクロスプリング

要約(英語): Electrostatically tunable surface plasmonic devices were fabricated using multi-photon polymerization followed by space-selective metal deposition. Such plasmonic device consists of one plasmonic microplate and two 3D microsprings. Maximum efficiency for plasmon excitation was approximately 35%, which was consistent with theoretical value of 40%. The effieiencies could be continuously changed with inclination of the microplates by applying dc voltage up to 30V. Dynamic functionalities of plasmonic devices offer opportunities for further integrated devices in various micro-/nanodevice fields.

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