側壁電極ナノリソグラフィによるナノパターンの一括転写

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-005

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Nano Pattern Collective Transcription by Thin-film Edge Electrode Lithography

著者名: 陳 昆韓*{1}，李 永芳{2}，年吉 洋{1}，藤田 博之{1}({1}東京大学，{2}東芝)

キーワード: 側壁電極,陽極酸化反応,一括転写,ナノリソグラフィ

要約(英語): A new lithography method using thin-film edge electrodes is investigated to collectively transfer nano patterns by generating oxide on the substrate surface via the anodic oxidation reaction. Oxide nanopatterns of 80 nm in width were collectively transferred on Si substrate in a millimeter-scale area.

PDFファイルサイズ: 5,123 Kバイト