加工した基板上へのPb(Zr,Ti)O3のスパッタ成膜と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-051

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): PZT thin film deposition on inclined plane characterization

著者名: 森上 慎悟*，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介(兵庫県立大学)

キーワード: MEMS,PZT,垂直壁

要約(英語): In general, piezoelectric bending actuators are driven in the cantilever thickness direction because PZT thin film is deposited on wafer and is fabricated. We have tried to deposition PZT thin film on inclined plane so that extending the device applicability. The results of device evaluations are shown in this paper.

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