３軸加速度センサのZ零点安定化の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-057

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Evaluation of Z-directional zero-point stabilization of 3-axis Accelerometer

著者名: 藤吉 基弘*{1}，船橋 博文{1}，畑 良幸{1}，大村 義輝{1}，大平 喜恵{1}，野々村 裕{1}，山田 整{2}，中山 貴裕{2}({1}豊田中央研究所，{2}トヨタ自動車)

キーワード: 3軸加速度センサ,応力緩和構造,容量検出,2自由度振動モデル,SOI

要約(英語): A novel stress reduction structure (SRS) is presented to improve the stability of a zero-point of a 3-axis capacitive accelerometer. An FEM analysis evaluated the reasons why the Z-direction zero-point drift occurred. The experimental results demonstrated that the proposed SRS can reduce the Z-directional zero-point drift by one-ninth.

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