サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-059

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY

著者名: 松井 祐樹*，平井 義和，土屋 智由，田畑 修(京都大学)

キーワード: 静電容量型加速度センサ,サブミクロンギャップ,プルイン,SOI

要約(英語): Capacitive accelerometers are widely used for consumer applications. In new application fields such as a geophysical exploration and a seismic measurement, high sensitivity is required. In general, it has been realized by increasing volume, which is not desirable. In this study scaling down and arraying to improve sensitivity without increasing volume is proposed. In order to verify the proposal, a 10×10 plate array of single-axis accelerometers is designed, fabricated, and evaluated.

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