超音波マイクロセンサ用圧電ダイアフラム構造体のパルス受信時振動モード

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-065

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Pulse-induced vibration modes of piezoelectric diaphragms for ultrasonic microsensors

著者名: 山下 馨*，西海 太貴，田中 光，野田 実(京都工芸繊維大学)

キーワード: ダイアフラム,振動モード,分極,超音波センサ

要約(英語): Piezoelectric diaphragms structures for MEMS ultrasonic sensors have been fabricated in square/circular and flat/buckled shapes. Dynamic resonant mode analysis method has been developed to evaluate the vibration modes of diaphragms in transient damping oscillation. Pulse ultrasound includes higher order frequencies and induces corresponding higher order vibration mode in the diaphragms. The results show that the circular-buckled shape is the most suitable for the diaphragm of the sensors.

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