カビ胞子および花粉を検出するリアルタイムモニタリング用マイクロセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-085

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Study on Micro Sensors for Real-Time Monitoring of Mold Spores and Pollen

著者名: 水流添 圭，笹川 大輔*，山口 富治，原 和裕(東京電機大学)

キーワード: 花粉,カビの胞子,リアルタイムモニタリング,マイクロセンサ,金属酸化物

要約(英語): A MEMS type micro sensor for real-time monitoring of organic airborne particles is developed using semiconductor thin-film. The sensor resistance steeply decreases and recovers to the initial value depending on the particle size when a mold spore or a grain of pollen adheres to the surface of the sensing film and burns on it.

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