Bio-nano-templateと中性粒子ビームエッチングを用いたInGaAs/GaAs 量子ナノディスクLEDの設計と試作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-128

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Design and Fabrication of InGaAs/GaAs Quantum Nanodisk LED by fusion of Bio-nano-template and Neutral Beam dry process

著者名: 肥後 昭男*{1}，木場 隆之{2}，トーマス セドリック{1}，田村 洋典{1}，高山 純一{3}，山下 一郎{4}，王 雲鵬{5}，ハサネット ソダーバンル{5}，杉山 正和{5}，中野 義昭{5}，村山 明宏{3}，寒川 誠二{1}({1}東北大学，{2}北見工業大学，{3}北海道大学，{4}奈良先端科学技術大学院大学，{5}東京大学)

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