PZT薄膜の圧電特性d33,fの面内分布を指標とした圧電MEMSプロセスモニター

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-132

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Piezoelectric MEMS device process monitoring with piezoelectric constant d33,f of PZT thin films

著者名: 小林 健*，牧本 なつみ(産業技術総合研究所)

PDFファイルサイズ: 310 Kバイト