デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-134

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Development of fabricated microchannel into Si cantilever process for hollow structuring dual AFM tip

著者名: 三浦 嘉隆*{1}，三品 和樹{1}，川島 健太{1}，佐藤 翼{1}，柴田 隆行{2}，峯田 貴{1}({1}山形大学，{2}豊橋技術科学大学)

PDFファイルサイズ: 555 Kバイト