MEMS水素ガスセンサのための白金触媒めっき技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-144

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Development of Platinum Catalyst Electroplating Technology for MEMS Hydrogen Gas Sensors

著者名: 大井川 寛*，池沢 聡，植田 敏嗣(早稲田大学)

PDFファイルサイズ: 579 Kバイト