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マイクロ流路を一体化したMEMS光干渉型表面応力センサによる 生体分子計測
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 30am2-PS-146
グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2015/10/21
タイトル(英語): MEMS optical interferometric surface-stress sensor integrated with microchannel for biosensing
著者名: 桝屋 善光*,小澤 遼,石田 誠,澤田 和明,高橋 一浩(豊橋技術科学大学)
PDFファイルサイズ: 594 Kバイト
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