電子顕微鏡その場観察用引張試験デバイスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-016

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Development of tensile testing device for in-situ observation

著者名: 上野 晃平*，中村 真也，安藤 妙子(立命館大学)

キーワード: 透過型電子顕微鏡,両側引張試験,構造解析,シリコン,その場観察

要約(英語): A novel experimental method of tensile test for evaluating mechanical deformation and fracture of thin film under high-resolution observation is proposed. The method consists of micromachined silicon device including thin film specimen and Transmission Electron Microscope (TEM) with loading system using PZT actuators. Finally we fabricated the experimental device and performed preliminary experiment in SEM.

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