1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-020

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): The design of a three-dimensional MEMS scanner with a single pair of beams

著者名: 小口 陽平*，飯野 知紗，岩瀬 英治(早稲田大学)

キーワード: MEMSスキャナ,3次元駆動,電磁駆動,共振周波数,形状設計

要約(英語): We propose the design for three-dimensional (3-D) MEMS scanner with single pair of beams. First, we designed rough shape of the scanner using　calculation from theoretical formula. Next, we designed the detailed shape using FEM analysis. Finally, we fabricated the scanner and evaluated 3-D actuation.

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