結晶異方性プラズマエッチング法によるSP共鳴波長変調アクチュエータの作製
結晶異方性プラズマエッチング法によるSP共鳴波長変調アクチュエータの作製
カテゴリ: 部門大会
論文No: 30am2-PS-026
グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2015/10/21
タイトル(英語): Fabrication of Nano-Actuator for Modulating Surface Plasmon Resonance Wavelength Using Crystalline Anisotropic Plasma Etching
著者名: 香川 大地*{1},鏡原 照正{1},下川 房男{1},高尾 英邦{1},寺尾 京平{1},山口 堅三{1},鈴木 孝明{2}({1}香川大学,{2}群馬大学)
キーワード: 反応性イオンエッチング,結晶異方性エッチング,単結晶シリコン,表面プラズモン,プラズモンチップ
要約(英語): We propose a novel release method to fabricate a nano actuator by using crystalline anisotropic plasma etching. The proposed process is applied for wafer-size work area and requires no complicated progress and special equipment. we fabricated a nano-actuator for modulating surface plasmon resonance wavelength in nanophotonics application. In static optical measurement of the fabricated nano actuator, the experimental reflected light intensity is observed at near the numerical calculated value.
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