水熱合成PZT膜を用いた凹面型小型超音波トランスデューサの作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-036

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Evaluation of a concave shape small ultrasonic transducer using PZT film by deposited hydrothermal method

著者名: 中岡 佑太*{1}，神田 岳文{1}，鈴森 康一{2}，中平 大智{1}({1}岡山大学，{2}東京工業大学)

キーワード: 集束超音波,凹面型超音波トランスデューサ,水熱合成法

要約(英語): By using a hydrothermal method, PZT thin film can be easily deposited on the substrate which has three-dimensional structure. In this study, PZT thin film has been deposited on a concave shape titanium substrate which has a diameter of 2mm, 5mm and 10mm by using the hydrothermal method and ultrasonic transducers have been fabricated. In addition, those ultrasonic transducers have been evaluated by the underwater experiment.

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