エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-046

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Evaluation of tactile sensation and friction using periodic micro-structure of etched silicon surface

著者名: 徐 嘉楽*，野々村 美宗，峯田 貴(山形大学)

キーワード: 微細凹凸アレイ,触感,摩擦係数,人工指モデル

要約(英語): Periodic micro-bump array structures on Si substrate was fabricated to evaluate their tactile sensations. Fine-edged Si micro-bump array structures can be easily fabricated by photolithography and dry etching processes. The result of sensory evaluation showed that rough feeling was affected by edges of the micro-bump structures. The frictional resistance feeling did not depends on the measured frictional coefficient.

PDFファイルサイズ: 1,098 Kバイト