シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の有限要素法解析―導波路位置依存性及びダイヤフラム厚依存性―

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-054

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): FEM analysis on sensor sensitivity in a silicon-based guided wave optical accelerometer -sensitivity dependences on waveguide position and diaphragm thickness-

著者名: 宮澤 哲史*，大河 正志，佐藤 孝(新潟大学)

キーワード: 加速度センサ,光集積回路,光導波路,ダイヤフラム,シリコン

要約(英語): Our group has developed a silicon-based guided-wave optical accelerometer with a proof mass centered on a diaphragm. For this type of accelerometer, it is strongly suggested that sensitivity is related to waveguide position, diaphragm dimensions, and size and weight of proof mass. In this study, sensitivity dependences on waveguide position and diaphragm thickness were considered with FEM analysis. It is found from simulation results that the highest sensitivity could be obtained for the waveguide at the diaphragm edge and is inversely proportional to the square of the diaphragm thickness.

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