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小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討

小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-056

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Basic study on response characteristic of guided-wave optical micro pressure sensor with semi-closed space under the diaphragm

著者名: 川村 義晃*,大河  正志,佐藤 孝(新潟大学)

キーワード: 圧力センサ,ダイヤフラム,光弾性効果,光集積回路

要約(英語): Our original duided-wave optical pressure sensor consists of a diaphragm and a semi-closed space with a small hole or a nozzle under a diaphragm. The sensor could detect infinitesimal fluctuation of atomospherice pressure, keeping breakdown pressure relatively high for quasi-static pressure, such as daily pressure variation, which is possibly several 10 hPa. In a step-like change in ambient pressure, a pressure difference is induced on the diaphragm for a short while because the small hole restricts fluid flow between the semi-closed space and the surroundings. Time duration when pressure difference yields on diaphragm is one of the most important specifications of the sensor, and depends on structural dimensions, such as area of the small hole, volume of semi-closed space, and length of the nozzle. In this study, dependences of the time duration on structural dimensions in semi-closed space were examined by computational fluid simulation.

PDFファイルサイズ: 637 Kバイト

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