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2次元非対称シリコンマイクロミラーの高伝達効率化

2次元非対称シリコンマイクロミラーの高伝達効率化

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-060

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): High Vibration Transmissibility of 2D Asymmetric Silicon Micro-Mirrors

著者名: 伊東 隆喜*{1},栗山 敏秀{2},中家 利幸{3},松井 順{3}({1}和歌山県工業技術センター,{2}近畿大学,{3}阪和電子工業)

キーワード: 2D asymmetric silicon micro-mirror,National Television System Committee standard,SOI-MEMS,two-degree-of-freedom-forced vibration system,high vibration transmissibility

要約(英語): We developed high vibration transmissibility of 2D asymmetric micro-mirrors for the National Television System Committee standard using dynamic analysis using a single external piezoelectric ceramic vibrating element. 2D asymmetric silicon micro-mirrors were fabricated using an SOI-MEMS process. We obtained resonant frequencies of 70.5 Hz and 19.51 kHz along the low- and high-speed axes, respectively.

PDFファイルサイズ: 891 Kバイト

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