酸化バナジウムを用いた共振型マイクロ熱量センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-066

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Resonant thermal sensor using vanadium oxide

著者名: 猪股 直生*，潘 立葆，戸田 雅也，小野 崇人(東北大学)

キーワード: 熱量センサ,振動子,酸化バナジウム,MEMS

要約(英語): Resonant thermal sensors based on vanadium oxide (VOx) are fabricated, and its temperature dependences on the frequency and the Q factor are investigated. The temperature coefficient of the resonant frequency is -1308 ppm/K in 20-100℃. The Q factor is 400-600, and do not show the large temperature dependence.

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