親水性保護膜を用いた半導体型ECセンサによる土壌安定測定の実現
親水性保護膜を用いた半導体型ECセンサによる土壌安定測定の実現
カテゴリ: 部門大会
論文No: 30am2-PS-072
グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2015/10/21
タイトル(英語): Experimental Realization of Soil Stable Measurements using a Semiconductor Type EC Sensor with a Hydrophilic Passivation Film
著者名: 伊藤 巽*{1},小松 満{2},國井 有巳{3},渡辺 実{4},鈴木 彦文{5},不破 泰{5},竹下 祐二{2},二川 雅登{1}({1}静岡大学,{2}岡山大学,{3}ラピスセミコンダクタ宮城,{4}ラピスセミコンダクタ,{5}信州大学)
キーワード: ECセンサ,水分量,斜面崩壊,親水性膜,土壌
要約(英語): Because the small sensor measures small area near the sensor surface, measurement range and accuracy of the sensor is easily affected by the state of the surface. The output signals of conventional sensor chip and proposed sensor chip were compared. We confirmed that the the stability of the contact characteristics was improved via the SiOx layer. Then, a long term field monitoring in the slopes of the mountain was performed.The sensor could improve the responsivity to precipitation can realize.
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