極薄シリコンとガラスの陽極接合における接合部のグロー放電分光分析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-074

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Glow Discharge Mass Spectroscopy Study on Joints in Anodic Bonding of Borosilicate Glass to Ultra-thin Silicon

著者名: 伊東 隆喜*(和歌山県工業技術センター)

キーワード: glow discharge mass spectroscopy study,join,anodic bonding,borosilicate glass,ultra-thin silicon

要約(英語): The concentrations of joints in anodic bonding of borosilicate glass to ultrathin silicon were measured using glow discharge mass spectroscopy. All cations in the glass migrated towards the cathode, leaving behind the non-bridging oxygen ions. It is likely that the non-bridging oxygen ions that remain in glass result from anodic bonding in the negatively charged depletion layer.

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