Ag触媒を添加したWO3系薄膜を用いたNOガスセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am2-PS-088

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): NO Gas Sensors Using Ag Doped WO3-Based Thin Film

著者名: 清水 昭宏，森田 翼*，山口 富治，原 和裕(東京電機大学)

キーワード: NOガスセンサ,WO3薄膜,Ag触媒,空隙,多層構造

要約(英語): A novel NO sensor is developed using a multiple layered WO3 thin film with interspaces. Ag doping into WO3 thin film is effective in increasing the sensitivity to NOx. A multiple layered thin film with interspaces successfully enhances both sensitivity and selectivity to NO.

PDFファイルサイズ: 1,079 Kバイト