MEMSの昨日，今日，明日

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm2-A

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): MEMS: its yesterday, today, and tomorrow

著者名: 藤田 博之*(東京大学)

キーワード: マイクロマシン,センサ,異分野融合,モアザンムーア,無線センサ端末

要約(英語): The history, current status and future prospects of MEMS research in Japan are described. The first part is the author’s personal experience on MEMS research development. The second part covers current and future MEMS applications, and the supporting environment for MEMS design and fabrication. Finally, the concept and the emerging research on beyond-MEMS technology are discussed.

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