発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PLN-2

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A study of Au Proof Mass CMOS-MEMS acceleration sensor using olation type capacitance detection circuit

著者名: 折原 恒祐(東京工業大学),高安 基大(東京工業大学),道正 志郎(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Kosuke Orihara| Motohiro Takayasu |Shiro Dosho| Hiroyuki Ito |Daisuke Yamane| Toshifumi Konishi |Noboru Ishihara| Katsuyuki Machida |Kazuya Masu

キーワード: 加速度センサ,Au錘,CMOS-MEMS,容量検出,弛張発振回路

要約(日本語): 本研究では、MEMS加速度センサの小型化・高分解能化のため、積層メタル技術によるAu錘MEMSデバイスと、時間ドメインセンシングによる容量検出回路をCMOS-MEMS構造とした。提案したCMOS-MEMSチップを4mm角で試作し、小型でSub-1mG検出可能なMEMS加速度センサを実現した。以上より、発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの実現見通しを得た。

要約(英語): his paper describes the evaluation results of an Au proof-mass CMOS-MEMS accelerometer using an oscillation type capacitance sensing circuit. We demonstrate the operation of a fabricated chip of 4 mm ×4 mm in area. The result confirm that it would be possible to realize Au proof-mass CMOS-MEMS accelerometers.

PDFファイルサイズ: 340 Kバイト