ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-11

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Development and evaluation of wirelessly excited QCM sensor for thermogravimetric analysis

著者名: 丸山 耕平(新潟大学),坂口 淳(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): MARUYAMA Kohei()

キーワード: 水晶振動子微小天秤,ワイヤレス発振,熱重量分析,ヒータ線,スペーサ

要約(日本語): 本報では,ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価について報告する。本技術では,水晶基板を試料皿としてその上の材料の分析に用いることができる。センサの分解能につながる昇温特性と周波数安定性を測定した。ワイヤレス発振式QCMを用いることで,実装性を改善させた。また,ヒータ線の断面積を部分的に変化させることで,センシング電極部分を集中して加熱できるようなヒータ線のデザインを考案し作製した。

要約(英語): In this paper, we propose a wirelessly excited QCM sensor for thermogravimetric analysis. We can materials analysis using this sensor. We improved the mountability by using the wirelessly excited QCM. Also, we found out an optimized design for realizing the efficient temperature rise on the sensing electrode.

PDFファイルサイズ: 609 Kバイト