Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-15

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Near-infrared optical property of Si-deposited gold nanowire grating structures

著者名: 新居 直之(神戸大学),菅野 公二(神戸大学),磯野 吉正(神戸大学)

著者名(英語): Naoyuki Arai| Koji Sugano |Yoshitada Isono

キーワード: 金ナノワイヤ,シリコン,プラズモニクス,光学特性,近赤外域

要約(日本語): 近赤外域においてプラズモン共鳴を利用した高性能センサへの応用に向けて,金ナノワイヤグレーティング構造をSiで被覆した構造を新たに提案・作製し,計測とシミュレーションによりその光学特性を評価した。Si被覆により近赤外域においてナローバンドな吸収ピークが得られることを実証し,ナノワイヤのピッチと幅,Si厚さにより吸収ピークを近赤外域の広範囲で制御可能であることを明らかにした。

要約(英語): For applications to high performance sensors using plasmon resonance in the near-infrared region, we fabricated the Si-deposited gold nanowire grating structures and evaluated their optical properties by measurement and simulation. By using the Si-deposited gold nanowire grating structures, the widely ranged control of the absorption peak wavelength was confirmed in the near infrared region.

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