FABRICATION OF PMUT USING SILICON ON NOTHING PROCESS FOR FINGERPRINT SENSOR

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-19

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): FABRICATION OF PMUT USING SILICON ON NOTHING PROCESS FOR FINGERPRINT SENSOR

著者名: HANG SHIM(東北大学),Toan(東北大学),Nguyen Van(東北大学),Toda(東北大学),Masaya(東北大学),Inomata Naoki(東北大学),Kanamori(東北大学),Yoshiaki(東北大学),Yunheub Song(東北大学),Youngtaek(東北大学),Oh(東北大学)

著者名(英語): SHIM Hang| Nguyen|Van Toan| Masaya|Toda |Naoki Inomata| Yoshiaki|Kanamori |Yunheub Song| Youngtaek|Oh

キーワード: Si deformation,PMUT,Silicon On Nothing,Empty Space Silicon,Ultrasonic transducer

要約(日本語): 本研究では、Silicon On Nothing工程がPMUT製造のためのMUT構造を作り出すことができるということを示している。

要約(英語): This research show that Silicon on Nothing process can fabricate PMUT devices.

PDFファイルサイズ: 242 Kバイト