TPMSを指向した面外振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石の応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-23

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Out-of-plane vibration energy harvester by using NdFeb thin film magnet for TPMS application

著者名: 福永 彬人(兵庫県立大学),吉井 真一(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akito Fukunaga| Shinichi Yoshi |Kensuke Kanda| Takayuki Fujita |Kazusuke Maenaka

キーワード: エナジーハーベスタ,エレクトレット,積層薄膜磁石,面外振動,TPMS

要約(日本語): 本研究では,TPMSを目的とした低背で設置できる面外振動エレクトレットエナジーハーベスタを提案した。解析結果から,凹凸形状の磁性薄膜からの磁気反発力で,エレクトレットの静電引力によるプルイン回避の可能性を示した。さらに磁性材料とエレクトレット構造を融合した,MEMSバッチ作製可能な新しいプロセスに取り組み,初期的な試作結果を確認した。

要約(英語): In this study, we present a design of vibration type electret energy harvester with out-of-plane operation. The out-of-plane structure can achieve low profile device alignment for TPMS application. A NdFeB sputtered magnet film is used for pull-in prevention by using its repulsive force. Preliminary simulation and designing are also demonstrated.

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