広帯域波長可変型-量子カスケードレーザーの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-27

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Broad tunable Quantum Cascade Laser

著者名: 杉山 厚志(浜松ホトニクス),秋草 直大(浜松ホトニクス),枝村 忠孝(浜松ホトニクス)

著者名(英語): Atsushi Sugiyama| Naota Akikusa |Tadataka Edamura

キーワード: MEMSグレーティング,波長可変レーザー,量子カスケードレーザー,外部共振器レーザー,吸収分光

要約(日本語): 広帯域波長可変量子カスケードレーザーを開発した。高速波長可変と小型化を実現するためにグレーティングにMEMS技術を取り入れた。MEMSグレーティングは電磁式アクチュエータを備え、MEMSミラーのミラー面にナノインプリントでグレーティングを形成したものである。これを用いて外部共振器を構成することで、波長7.1 μmから8.5 μmまでの広帯域波長可変を実証した。

要約(英語): The MEMS grating is fabricated for mid-infrared tunable lasers. It consists of a Cu damascene coil for the magnetic actuator and a nano-imprinted grating. Using a MEMS grating, a high speed and broadband tuning from 7.1 to 8.5 micron is demonstrated with an external-cavity quantum cascade laser.

PDFファイルサイズ: 1,365 Kバイト