電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-33

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Electromagnetic Silicon MEMS Resonator

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター),村山 裕紀(山形県工業技術センター)

著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe| Toru Yahagi |Yutaka Abe| Hiroki Murayama

キーワード: 電磁駆動,誘導検出,MEMSレゾネータ,マルチモーダルセンサ,振動型

要約(日本語): 多変数を検出するマルチモーダルセンサの開発を目指し、共通構造となるシリコンMEMSレゾネータを作製し、電磁駆動、誘導検出で振動特性を評価した。傾き振動の共振周波数は約87kHzであり、駆動電圧の増加に伴い低周波側にシフトした。感応膜を想定した薄膜除去により共振周波数は低周波側にシフトした。質量減少よりも応力緩和の効果が大きかった。共振温度特性を調べ温度センサへの応用や周波数調整などに適用できることを示した。

要約(英語): We have fabricated a silicon MEMS resonator aiming at multi-modal sensors, and evaluated vibration characteristics by electromagnetic drive and induced electromotive force detection. The resonance frequency of the driving voltage of 0.6 Vpp shows torsional vibration of approximately 87 kHz, and the resonance frequency is shifted toward the low frequency side as the driving voltage increases. Resonance characteristics due to temperature change and thin film stress were evaluated.

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