磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFMカンチレバーの形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-39

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of switchable dual AFM cantilever with large displacement using magneto-strictive film

著者名: 洪 振瑞(山形大学),三品 和樹(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Jinseo Hong| Kazuki Mishina |Takashi Mineta

キーワード: デュアルAFMプローブ,切替型,磁歪膜,大変位,共振特性

要約(日本語): 大変位切替型デュアルAFMカンチレバーを作製し共振特性および変位を評価した。5 μm厚の流路部を変位しやすくするためにジグザグ構造にし,流路部の両側に磁歪膜アクチュエータを並べ, 500 Gaussの磁束印加で最大2.3 μmの変位を得た。大気中で観察用カンチレバーの共振時にデリバリ用カンチレバーは共振しないことを確認し,デリバリ用の振動振幅は300~500 nm程度であり,デリバリ用をたわませて試料表面への接触を避けながら観察可能であ

要約(英語): A prototype of dual AFM cantilever with large deflectable structure using magneto-strictive film for cantilever switching was fabricated. The delivering cantilever deflected up to 2.3 um which is sufficient to avoid the tip-sample contact. The amplitude of delivering cantilever was small enough at the resonant frequency of imaging cantilever.

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