櫛歯電極における静電ポテンシャルを利用した共振型加速度センサの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-45

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A Study on Resonant Accelerometers using Electrostatic Potential in the Comb Electrodes

著者名: 劉 健男(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Liu Jiannan| Muro Hideo

キーワード: 共振型センサ,静電ポテンシャル,SOI-MEMS,櫛型電極,静電駆動

要約(日本語): 現在各種のエレクトロニクスシステムにおいてMEMS加速度センサが多く用いられているが。さらなる小型,低価格が求められるようになっている。その解決策の一つとして考えられるのが共振型加速センサである。本報告ではSOI-MEMS 技術を用いて変位検出用の櫛型電極にDC電圧を重畳することで,静電ポテンシャル中での振動において見かけ上の負のばね定数が発生することにより共振周波数が変化する共振型加速度センサについて述べる。

要約(英語): Future systems might require smaller sensors, and resonant accelerometer is one of the promising candidates. This report describes a noble resonant accelerometer, where the proof mass is displaced by the applied acceleration in the electrostatic field between the comb electrodes, resulting in a considerable change in the resonant frequency.

PDFファイルサイズ: 880 Kバイト