Cu-Cr脱合金化法を用いた新規ナノポーラス膜の製作と油中水分センサへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-51

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of a new nanoporous film by chemical dealloying of Cu-Cr and its application for a moisture-in-oil sensor

著者名: 吉井 雄佑(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学),溝尻 瑞枝(名古屋大学),秦 誠一(名古屋大学)

著者名(英語): Yusuke Yoshii| Junpei Sakurai |Mizue Mizoshiri| Seiichi Hata

キーワード: ナノポーラス膜,分子フィルタ,スパッタリング,脱合金化法,センサ

要約(日本語): 本研究では,Cu-Cr脱合金化法によりナノポーラス膜を製作し,油水分離のための分子フィルタとして,油中水分センサへの適用を図った.脱合金化法により,Cu-Cr合金から透明色・非導通性をもつCr2O3主体のナノポーラス膜の形成に成功し,表面へのAuコートを行うことで,センサ用ナノポーラス電極膜への適用に成功した.製作した油中水分センサは大気中および油中で良好な応答性を示し,ヒステリシス試験,90%応答時間の目標値達成に成功した.

要約(英語): A nanoporous film with 20-40 nm pore sizes having new properties of a transparency and an insulation state based on Cr2O3, which was fabricated by chemical dealloying of Cu-Cr, was applied for a moisture-in-oil sensor. The sensor showed good responsiveness of a hysteresis of 7.4%F.S. and a 90%response time of 9 minutes in air and oil respectively.

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