ワイヤレス駆動可能なデュアルモード型QCMセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-67

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Development of Wirelessly Excited Dual-Mode QCM Sensor

著者名: 佐藤 育人(新潟大学),坂口 淳(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Sato Ikuto| Sakaguchi Jun |Sohgawa Masayuki| Abe Takashi

キーワード: 水晶振動子微小天秤,ガスセンサ,弾性率,デュアルモード,ワイヤレス発振

要約(日本語): 本報では、ワイヤレス駆動可能なデュアルモード型QCMセンサについて報告する。このセンサでは通常のQCMとは異なり、励振電極がガラス基板に配置されている。このような電極配置はQCMと発振回路の間の電気的接続を容易にするため、ガスセンサへの応用に適している。水晶基板への配線が不要となるため、センシング部である水晶基板の交換が容易となることから、より実装性に優れたセンサとして期待できる。

要約(英語): This paper reports the development of wirelessly excited dual mode QCM sensor. In this sensor, the excitation electrodes are positioned on a glass plate separate from the QCM. Such electrode configurations are suitable for gas sensor because the electrical interconnections between the QCM and the oscillation circuit are simple.

PDFファイルサイズ: 660 Kバイト