柔軟基板上に形成された3Dマイクロニードルによるin vivo神経電位計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-75

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Three-dimensional microneedle-electrode assembled on flexible substrate for in vivo neural recordings

著者名: 山際 翔太(豊橋技術科学大学),澤畑 博人(豊橋技術科学大学),沼野 利佳(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),鯉田 孝和(エレクトロニクス先端融合研究所),河野 剛士(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Shota Yamagiwa| Hirohito Sawahata |Rika Numano| Makoto Ishida |Kowa Koida| Takeshi Kawano

キーワード: 神経電極,シリコンニードル,柔軟基板,パリレン,in vivo計測

要約(日本語): 本研究では直径10 ?m以下の3Dニードル電極を10 ?m厚のパリレン柔軟基板上に搭載した。今回の報告ではパリレンフィルムへのSi薄膜の埋め込み手法と搭載方法およびニードル電極作製プロセスを提案した。作製しFPC上にパッケージングした神経電極を用いてin vivoでのマウス大脳皮質バレル野から計測を行ったところ、ヒゲ刺激に応答するLFPおよびスパイク信号を計測することができた。

要約(英語): This paper reports a < 10-um-diameter three-dimensional (3D) needle-electrode assembled on a 10-um-thick flexible film. Herein, we proposed a fabrication process, in which vertical Si-microneedle is assembled on a Si membrane by vapor-liquid-solid growth, and the Si-needle is subsequently released from the Si substrate with a flexible film of parylene. The fabricated device shows the neural recording capability, as demonstrated in the in vivo recording of action potentials from a mouse's cortex.

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