水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-95

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Heterogeneous bonding between cyclo-olefin polymer (COP) and glass-like substrate by newly developed water vapor assisted plasma, Aqua Plasma Cleaner

著者名: 寺井 弘和(サムコ),舩橋 理佐(サムコ),橋本 泰知(サムコ),角田 正也(シスメックス)

著者名(英語): Hirokazu Terai| Risa Funahashi |Taichi Hashimoto| Masaya Kakuta

キーワード: マイクロフルイディクス,シクロオレフィンポリマー(COP),ガラス,異種材料接合,水蒸気プラズマ

要約(日本語): 高性能で低コストなマイクロ流路デバイスを開発するために、水蒸気を用いた減圧プラズマでシクロオレフィンポリマー(COP)とガラス系基板の表面を改質し、異種材料接合に関する研究を行った。COPとガラスは常温自重で接合し、接合強度は母材破壊に至った。COPとガラスの表面はいずれも水接触角が1°未満に超親水化され、11日経過後も安定した親水性を示した。OESとXPSでプラズマとCOP表面を分析し、反応プロセスの解析を行なった。

要約(英語): To develop high performance and low cost microfluidic devices, heterogeneous bonding with cyclo-olefin polymer (COP) and glass was investigated by water vapor plasma. COP and glass were bonded at room temperature. Water contact angle was superhydrophilic and showed hydrophilicity even after 11 days.

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