光干渉型表面応力センサのバイオ・化学センシングへの応用と差分測定に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm1-A-3

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Application of an Optic Interferometric Surface Stress Sensor to Bio/Chemical Sensing and Consideration of the Differential Measurement

著者名: 丸山 智史(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Satoshi Maruyama| Takeshi Hizawa |Kazuhiro Takahashi| Kazuaki Sawada

キーワード: 微小電気機械システム,光干渉型表面応力センサ,集積化MEMS,差分測定,バイオ・化学センシング

要約(日本語): 本研究ではセンサと電子回路を集積し、エタノールを封止した測定を行った。また、外的ノイズの影響が少ない手法として、分子吸着による可動膜の変化量だけ検出可能な差分測定型光干渉表面応力センサを提案する。本センサは信号変換効率が高く高感度なセンシングができる反面、圧力変化や光源強度のドリフトに大きく依存してしまう。そこで、基準値と比較して入射光強度に依存しないセンシングができることを実証したので報告する。

要約(英語): We have developed a Fabry-Perot interferometer sensor with a MOSFETs circuit for chemical sensing. The novel signal transducing technique was performed in three steps, namely, mechanical deflection, transmittance change, and photocurrent change. A small readout photocurrent was processed by the integrated source follower circuit.

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