MEMS可変メタマテリアルを用いたテラヘルツ・バンドパスフィルタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-20

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): MEMS Reconfigurable Metamaterial for Tunable Terahertz Bandpass Filter

著者名: 市川 和秀(東京大学),韓 正利(理化学研究所),高橋 巧也(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Kazuhide Ichikawa| Zhengli Han |Takuya Takahashi| Hiroshi Toshiyoshi

キーワード: テラヘルツ波,可変バンドパスフィルタ,クロススロット型メタマテリアル,ロールアップ・カンチレバー,LC並列共振回路

要約(日本語): テラヘルツ波帯マルチスペクトルイメージングの実現を目指し,MEMS技術を用いた可変バンドパスフィルタを提案する。提案するフィルタは,バンドパスフィルタとして機能するクロススロット型メタマテリアルに基づいており,スロット部分に静電駆動型ロールアップ・カンチレバーが搭載されている。電磁界シミュレータを用いて,カンチレバーの駆動により透過帯域がチューニングできることを示し,それに基づいてデバイスの作製を行った。

要約(英語): We demonstrate a reconfigurable metamaterial for a tunable bandpass filter. The built-in capacitors within the resonator are composed of roll-up cantilevers, which are composite beams that can be curled up by internal stress. Electromagnetic simulation is performed to show that the resonant frequency can be shifted by electrostatically actuating the cantilevers.

PDFファイルサイズ: 1,198 Kバイト