振動型エナジーハーベスタのための磁気反発力を用いた耐衝撃構造

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-24

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Shock Resistance Structure by Using Magnetic Repulsive Force for Vibration Energy Harvester

著者名: 吉井 真一(兵庫県立大学),北川 雄基(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shinichi Yoshii| Yuuki Kitagawa |Takayuki Fujita| Kensuke Kanda |Kazusuke Maenaka

キーワード: MEMS,エナジーハーベスタ,NdFeB/Ta,薄膜磁石,耐衝撃構造

要約(日本語): 本研究では,TPMSを指向した振動型エナジーハーベスタのための耐衝撃構造を提案した。解析結果より,薄膜磁石による磁気反発力によりデバイスの耐衝撃性の向上を示した。また,MEMSプロセスにより試作結果を確認した。

要約(英語): In this study, we present a shock resistance structure for vibration energy harvester. The shock resistance structure can protect the device from impact. The magnetic repulsive force by NdFeB/Ta multi-layer thin-film formed on spring structures is used to alleviate impact. Preliminary simulation and designing are also demonstrated.

PDFファイルサイズ: 438 Kバイト