静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの変位特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-26

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Evaluation of displacement of MEMS deformable mirror actuated by electrostatic piston array

著者名: 江間 稔起(京都大学),宇野 亜季子(京都大学),平井 義和(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Toshiki Ema| Akiko Uno |Yoshikazu Hirai| Toshiyuki Tsuchiya |Osamu Tabata

キーワード: 眼底検査,補償光学,可変形状ミラー,静電駆動,数理解析モデル

要約(日本語): 我々は低電圧駆動で大変形が可能な静電ピストンアレイと呼ぶ構造を有した可変形状ミラーを提案している。本報告では作製した可変形状ミラーを駆動し,独自に構築した数理解析モデルの変形と比較し評価することで,我々の提案する駆動原理の検証を行った。また,数理解析モデルを用いて目標形状を形成するための各電極への印加電圧を求めた。単一電極への電圧印加では40 Vの電圧印加で0.15 μmのストロークの変位を生成した。

要約(英語): We have proposed a deformable mirror with electrostatic pistons for large deflection and low voltage drive. In this report, we verified driving principle by comparing fabricated deformable mirror and constructed mathematical model. The applied voltage to each electrode for forming the target shape was obtained. 150 nm deflection was generated with applying 40 V to a single electrode.

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