液体向けMEMS 微小流量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-48

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): DEVELOPMENT OF MEMS MICRO FLOW SENSOR FOR LIQUID

著者名: 中野 正志(アズビル),池(アズビル),信一(アズビル),湯山 まゆみ(アズビル),矢吹(アズビル),紘久(アズビル)

著者名(英語): Seichi Nakao| Shinichi|Ike |Mayumi Yuyama| Hirohisa|Yabuki

キーワード: 熱式流量センサ,MEMS,液体,微小流量,石英管

要約(日本語): 液体の微小流量を計測するための、熱式流量センサを開発した。センサは石英管を局所的に薄くした表面に、液温センサとヒーターの2つのMEMSチップを低応力の接着剤で貼り付けている。ヒーターが常に液温から一定温度上昇するよう制御したときの電力から流量への変換を行う。フルスケール流量30mL/minで精度±5%RD、再現性±0.5%以下という良好な結果が得られた。

要約(英語): We present a thermal flow sensor for measuring low liquid flow. The sensor consists of two MEMS chips, quartz capillary and flexible substrate. The full scale flow measurement ranges up to 30mL/min. The flow sensor shows high accuracy (5.0%RD) and repeatability (0.5%RD).

PDFファイルサイズ: 360 Kバイト