乳幼児の口元気流計測を目的とした熱式チューブ型マイクロ流量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-52

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): DEVELOPMENT OF TUBE MICRO FLOW SENSOR FOR AIRFLOW MEASUREMENT AT MOUTH IN BABY

著者名: 光成 勇樹(広島市立大学),長谷川 義大(広島市立大学),松島 充代子(広島市立大学),川部 勤(広島市立大学),式田 光宏(広島市立大学)

著者名(英語): Mitsunari Yuki| Hasegawa Yoshihiro |Matsushima Miyoko| Kawabe Tsutomu |Shikida Mitsuhiro

キーワード: 流量センサ,温度補償,面積低減,乳幼児適用,MEMS

要約(日本語): 本研究では,乳幼児の呼吸と心拍を計測するために,口元気流計測による呼吸心拍同時計測可能なチューブ型流量センサを開発した。従来の流量センサにおいて,そのセンシング部が広い面積を占めていたため,開発した流量センサにはセンシング部面積を低減させた新たなセンサパターンを導入した。MEMS微細加工技術を用いて作製した流量センサは,2層のチューブ内壁に挿入する構造をしており,その計測特性を実験により確認した。

要約(英語): We developed novel type of a tube flow sensor for the airflow measurement at mouth for detecting the respiration and heartbeat signals in baby. Sensor pattern was newly designed to decrease its footprint area. The micromachined flow sensor was assembled to the inside surface of the tube, and its detection properties were experimentally investigated.

PDFファイルサイズ: 1,280 Kバイト